EUV光刻機(jī)是半導(dǎo)體制造中的核心設(shè)備，只有ASML公司才能生產(chǎn)，單臺售價約10億人民幣。價值不菲的光刻機(jī)，同時也是個十足的紙老虎，它的耗電量十分驚人，生產(chǎn)一天，大約需要消耗3萬度電左右!工作一年就要消耗1000萬度電。

據(jù)報道，因為今年半導(dǎo)體形勢變化，EUV光刻機(jī)反而因為耗電太多，臺積電計劃關(guān)閉省電。

來自產(chǎn)業(yè)鏈的消息人士手機(jī)晶片達(dá)人的消息稱，由于先進(jìn)制程產(chǎn)能利用率開始下滑，而且評估之后下滑時間會持續(xù)一段周期，臺積電計劃從年底開始，將部分EUV 設(shè)備關(guān)機(jī)，以節(jié)省EUV設(shè)備巨大的耗電支出。

據(jù)了解臺積電目前擁有大約80臺EUV光刻機(jī)，主要用于7nm、5nm及以下的先進(jìn)工藝，今年9月份還會量產(chǎn)3nm工藝，都需要EUV光刻機(jī)，然而隨著PC、手機(jī)、顯卡等產(chǎn)品的需求下滑，先進(jìn)工藝生產(chǎn)的芯片勢必會受到影響。

蘋果今年的iPhone 14 Pro系列的A16處理器也沒有急著上3nm工藝，還在用4nm工藝，此外蘋果還因為3nm能效問題，取消了初代3nm生產(chǎn)芯片的計劃。

相比之前的DUV光刻機(jī)，EUV光刻機(jī)需要使用高能激光器，而且光線會多次折射導(dǎo)致?lián)p耗極大，早期效率只有0.02%，現(xiàn)在量產(chǎn)的說是可以達(dá)到2%效率，但也意味著絕大多數(shù)電力都要消耗掉。