MEMS是英文Micro Electro Mechanical systems的縮寫,即微電子機(jī)械系統(tǒng)。微電子機(jī)械系統(tǒng)(MEMS)技術(shù)是建立在微米/納米技術(shù)(micro/nanotechnology)基礎(chǔ)上的21世紀(jì)前沿技術(shù),是指對微米/納米材料進(jìn)行設(shè)計(jì)、加工、制造、測量和控制的技術(shù)。它可將機(jī)械構(gòu)件、光學(xué)系統(tǒng)、驅(qū)動部件、電控系統(tǒng)集成為一個(gè)整體單元的微型系統(tǒng)。這種微電子機(jī)械系統(tǒng)不僅能夠采集、處理與發(fā)送信息或指令,還能夠按照所獲取的信息自主地或根據(jù)外部的指令采取行動。
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智能電能表用分流器或電流互感器將電 流信號變成可用于電子測量的小信號,用分壓電阻或電壓互感器將電壓信號變成可用于電子測量的小信號,再利用專用的電能測量芯片將來自電壓互感器、電流互感器的模擬信號轉(zhuǎn)換成數(shù)字信號。
霍爾傳感器是根據(jù)霍爾效應(yīng)制作的一種磁場傳感器,霍爾效應(yīng)是磁電效應(yīng)的一種,由霍爾效應(yīng) 的原理可得霍爾電勢的大小取決于
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