EUV光刻工藝除了需要EUV光刻機之外,也需要配套的EUV光刻膠,目前這一市場也主要被日本廠商壟斷,現(xiàn)在三星與韓國半導體廠商東進合作開發(fā)成功EUV光刻膠,已經(jīng)通過驗證。
北京時間8日消息,日本周四批準對韓國出口EUV光刻膠,這是自7月以來日本首次批準對韓出口高科技材料。 日本經(jīng)濟產(chǎn)業(yè)省大臣世耕弘成在新聞發(fā)布會上表示,日本通常不會每次宣布批準出口,這一次這樣做,是因為韓
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