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超表面激光加工系統(tǒng)：多焦點并行控制與工藝參數閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法
在精密制造領域，超表面激光加工技術憑借其亞波長級結構加工能力，已成為微納光學、量子器件等領域的核心工藝。然而，傳統(tǒng)單焦點加工效率低、熱效應累積等問題，制約了其產業(yè)化進程。近年來，多焦點并行控制與工藝參數閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法，為超表面激光加工系統(tǒng)提供了突破性解決方案。
在精密制造領域，超表面激光加工技術憑借其亞波長級結構加工能力，已成為微納光學、量子器件等領域的核心工藝。然而，傳統(tǒng)單焦點加工效率低、熱效應累積等問題，制約了其產業(yè)化進程。近年來，多焦點并行控制與工藝參數閉環(huán)優(yōu)化的路徑規(guī)劃算法，為超表面激光加工系統(tǒng)提供了突破性解決方案。
