近日,中國科學技術(shù)大學(以下簡稱“中國科大”)網(wǎng)站對外發(fā)布,中國科大在6G濾波器領(lǐng)域取得重要進展。該研究成果由微電子學院左成杰教授研究團隊在鈮酸鋰(LiNbO3)壓電薄膜上設(shè)計并實現(xiàn)了Q值超過100000的高頻(6.5 GHz)微機電系統(tǒng)(MEMS)諧振器,與文獻中現(xiàn)有的工作相比,把Q值提升了2個數(shù)量級。
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