場(chǎng)效應(yīng)晶體管(Field Effect Transistor縮寫(FET))簡(jiǎn)稱場(chǎng)效應(yīng)管。主要有兩種類型:結(jié)型場(chǎng)效應(yīng)管(junction FET—JFET)和金屬 - 氧化物半導(dǎo)體場(chǎng)效應(yīng)管(metal-oxide semiconductor FET,簡(jiǎn)稱MOS-FET)。
1. 前言本文介紹亞洲最大的顯示器國際會(huì)議“22th International Display Workshops(IDW ‘15)”上,關(guān)于氧化物半導(dǎo)體TFT的脫真空、脫光刻“綠色工藝”,以及TFT特性的主題