氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制,大量應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。金屬密封大流量氣體質(zhì)量流量控制器,在CVD、PVD、清洗機(jī)等設(shè)備上起著關(guān)鍵作用,但它的技術(shù)壁壘高、開(kāi)發(fā)難度大,導(dǎo)致長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。
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