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氣體質(zhì)量流量控制器

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我要報(bào)錯(cuò)

七星流量計(jì)金屬密封MFC加“大流量”了

氣體質(zhì)量流量控制器(MFC)用于對(duì)氣體的質(zhì)量流量進(jìn)行精密測(cè)量和控制，大量應(yīng)用于半導(dǎo)體領(lǐng)域。金屬密封大流量氣體質(zhì)量流量控制器，在CVD、PVD、清洗機(jī)等設(shè)備上起著關(guān)鍵作用，但它的技術(shù)壁壘高、開發(fā)難度大，導(dǎo)致長(zhǎng)期依賴進(jìn)口。

北方華創(chuàng)
2021-04-20

氣體質(zhì)量流量控制器半導(dǎo)體

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