國(guó)家科技重大專項(xiàng)極紫外光刻膠項(xiàng)目通過(guò)驗(yàn)收

與會(huì)專家對(duì)項(xiàng)目取得的研發(fā)成果給予了充分肯定，指出開(kāi)展極紫外光刻膠的研發(fā)具有戰(zhàn)略眼光，經(jīng)過(guò)項(xiàng)目組成員幾年的努力，圓滿地完成了研發(fā)任務(wù)，達(dá)到了項(xiàng)目任務(wù)書(shū)中規(guī)定的指標(biāo);建立了一支在高檔光刻膠領(lǐng)域的研發(fā)隊(duì)伍，為我國(guó)的半導(dǎo)體集成電路產(chǎn)業(yè)的穩(wěn)定發(fā)展提供了人才支持。