在芯片檢測機臺市場上,應(yīng)用材料公司的SEMVision系列一直都占據(jù)領(lǐng)導(dǎo)地位。隨著FinFET、3D封裝等技術(shù)的發(fā)展,芯片封裝工藝變得更為復(fù)雜;而且半導(dǎo)體廠商對于成本控制也頗為嚴(yán)格,因此也就有了更為精準(zhǔn)的缺陷檢測需求。
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