摘要:針對(duì)搬運(yùn)機(jī)器人的前輪轉(zhuǎn)向舵機(jī)和后輪驅(qū)動(dòng)電機(jī)的控制要求,采用以Cortex-M3為內(nèi)核的STM32F107作為主控制器,采用嵌入實(shí)時(shí)操作系統(tǒng)μC/OS-II,將程序分成啟動(dòng)任務(wù)、電機(jī)轉(zhuǎn)速控制任務(wù)、舵機(jī)控制任務(wù)等相對(duì)獨(dú)立
Rorze支持4個(gè)端口的450mm晶圓搬運(yùn)機(jī)器人在“Semicon Japan 2011”(2011年12月7~9日,幕張Messe會(huì)展中心)上首次展出。該機(jī)器人可使支持4個(gè)端口的制造裝置開(kāi)發(fā)變得容易,有助于削減成本及提高可靠性。 此前的
在與微細(xì)化同為半導(dǎo)體制造重要課題的大口徑化方面,在“SEMICON Japan 2010”(2010年12月1~3日,幕張Messe會(huì)展中心)上450mm晶圓的搬運(yùn)機(jī)器人及晶圓盒等相關(guān)展品的數(shù)量超過(guò)了預(yù)期。一直關(guān)注該領(lǐng)域的多名記者均表示