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KLA-Tencor公司針對7納米以下的IC制造推出五款圖案成型控制系統(tǒng)
KLA-Tencor公司今天針對7納米以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點推出了五款圖案成型控制系統(tǒng)，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。
巧克力娃娃
KLA-Tencor公司今天針對7納米以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點推出了五款圖案成型控制系統(tǒng)，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴(yán)格工藝寬容度。
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