用三維光學(xué)測(cè)量系統(tǒng)進(jìn)行測(cè)量時(shí),由于周圍環(huán)境、人、設(shè)備等各方面的影響,測(cè)量數(shù)據(jù)中常常會(huì)摻入噪聲。針對(duì)體外飛點(diǎn)和離群成簇噪聲分別采取基于K_近鄰搜索的平均距離去噪算法和改進(jìn)的基于近鄰點(diǎn)距傳播的去噪算法進(jìn)行處理,取得了較好的去噪效果。針對(duì)直接測(cè)量或者多次測(cè)量拼接獲取的點(diǎn)云存在“粗糙毛刺”和點(diǎn)云多層重疊的狀況,采用基于MLS的擬合平面投影光順?biāo)惴?/p>
業(yè)內(nèi)領(lǐng)先的測(cè)量?jī)x器供應(yīng)商愛德萬測(cè)試集團(tuán)于2012年11月14日推出全新的多視覺測(cè)量掃描電子顯微鏡(MVM-SEM: Multi-Vision Metrology Scanning Electron Microscope):晶圓掃描電鏡E3310,利用愛德萬測(cè)試專有的電子束
【圖1】用非接觸三維測(cè)量?jī)x“ATOS Triple Scan”測(cè)量時(shí)的情形。照射測(cè)量對(duì)象的條紋狀輔助光的光源采用藍(lán)色LED,可輕松測(cè)量具有光澤面及黑色表面的物體。(點(diǎn)擊放大) 【圖2】使用Triple Scan方式測(cè)量的效果。此
目前,哈量集團(tuán)三維測(cè)量傳感器的研發(fā)取得了階段性的進(jìn)展,在測(cè)量范圍、測(cè)量精度等方面均達(dá)到國(guó)外同類產(chǎn)品的技術(shù)水平。 該傳感器設(shè)計(jì)被為三維掃描式測(cè)頭,主要用在哈量集團(tuán)生產(chǎn)的齒輪測(cè)量中心上。哈量集團(tuán)針對(duì)齒