模擬信號轉換為數(shù)字信號需要經過信號的采樣、信號的保持、信號的量化與信號的編碼四個基本步驟。
改良西門子法多晶硅生產的西門子工藝,其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純三氯氫硅,生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門子工藝是在傳統(tǒng)的西門子工藝的基礎上,同時具備節(jié)能、降耗、回收利用生產過程中伴隨產生的大量H2、HCI、SiCI4等副產物以及大量副產熱能的配套工藝。世界上絕大部分廠家均采用改良西門子法生產多晶硅。
多晶硅,是單質硅的一種形態(tài)。熔融的單質硅在過冷條件下凝固時,硅原子以金剛石晶格形態(tài)排列成許多晶核,如這些晶核長成晶面取向不同的晶粒,則這些晶粒結合起來,就結晶成多晶硅。
光的干涉在薄膜光學中廣泛應用。光學薄膜技術的普遍方法是借助真空濺射的方式在玻璃基板上涂鍍薄膜,一般用來控制基板對入射光束的反射率和透過率,以滿足不同的需要。
化學氣相沉積是一種化工技術,該技術主要是利用含有薄膜元素的一種或幾種氣相化合物或單質、在襯底表面上進行化學反應生成薄膜的方法。化學氣相淀積是近幾十年發(fā)展起來的制備無機材料的新技術。
半導體工業(yè)對于晶圓表面缺陷檢測的要求,一般是要求高效準確,能夠捕捉有效缺陷,實現(xiàn)實時檢測。較為普遍的表面檢測技術主要可以分為兩大類:針接觸法和非接觸法,接觸法以針觸法為代表;非接觸法又可以分為原子力法和光學法。
分層劃片工藝,根據(jù)劃片材料的厚度,在劃片深度方向采用分層進給的方式進行劃片。首先進行開槽劃片,采用比較小的進給深度,以保證刀具受力小,降低刀具磨損,減小劃片刀崩邊,然后再劃片到 UV 膜厚度 1/2 的位置。