0 引言紫外探測技術(shù)是繼紅外和激光探測技術(shù)之后發(fā)展起來的又一軍民兩用光電探測技術(shù)。早在20世紀(jì)50年代,人們就開始了對紫外探測技術(shù)的研究。EUV探測器是利用30.4 nm波長
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