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rtp系統(tǒng)

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近日，應用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速熱處理（RTP）系統(tǒng)，推動最先進納米級晶體管制造的發(fā)展。該系統(tǒng)超越了當前的RTP技術，將退火工藝的精確性和控制性提

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2018-10-18

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