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應(yīng)用材料公司推出20納米世代的突破性快速熱處理技術(shù)
近日，應(yīng)用材料公司宣布推出Applied Vantage Vulcan快速熱處理（RTP）系統(tǒng)，推動(dòng)最先進(jìn)納米級(jí)晶體管制造的發(fā)展。該系統(tǒng)超越了當(dāng)前的RTP技術(shù)，將退火工藝的精確性和控制性提
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