眾所周知,荷蘭ASML公司是全球唯一的EUV光刻機供應商,7nm及以下的工藝生產(chǎn)都要靠他們的設備。 不過ASML不只是光刻機厲害,今天他們宣布了另外一個新產(chǎn)品——第一代HMI多光束檢測機HMI eScan1000,適用于5nm及更先進工藝,使得產(chǎn)能大漲600%。
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