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CVD

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多晶硅薄膜的制備方法設(shè)計

1 前言多晶硅薄膜材料同時具有單晶硅材料的高遷移率及非晶硅材料的可大面積、低成本制備的優(yōu)點。因此，對于多晶硅薄膜材料的研究越來越引起人們的關(guān)注，多晶硅薄膜的制備工

功率器件
2018-09-27

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