0 引言硅電容壓力傳感器是利用硅基材料, 應(yīng)用電容原理, 采用MEMS 工藝制作的一類新型壓力傳感器。因其具有穩(wěn)定性好, 非線性和可靠性優(yōu)越的性能被廣泛用于工業(yè)控制和測(cè)量
在實(shí)驗(yàn)的基礎(chǔ)上,提出一種設(shè)計(jì)差動(dòng)電容傳感器調(diào)理電路的新方法,引入AMG公司開發(fā)的將電容信號(hào)轉(zhuǎn)換成電壓信號(hào)的集成電路CAV424,以及CAV424在傾角傳感器中的應(yīng)用。另外,結(jié)合實(shí)例給出系統(tǒng)各部分的詳細(xì)硬件原理圖。
CAV424傾角傳感矗的檢測(cè)系統(tǒng)設(shè)計(jì)