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5nm刻蝕機

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國產5nm刻蝕機通過驗證，將用于臺積電5nm芯片制造

臺積電對外宣布，將在2019年第二季度進行5nm制程風險試產，預計2020年量產。與此同時，中微半導體也透露了一個重磅消息，其自主研發(fā)的5nm等離子體刻蝕機經臺積電驗證，性能優(yōu)良，將用于全球首條5nm制程生產線。

半導體
2018-12-18

臺積電 5nm刻蝕機 5nm芯片

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