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日本產綜研利用MEMS技術實現(xiàn)靜電傳感器的小型化
日本產業(yè)技術綜合研究所開發(fā)出了基于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）技術的靜電傳感器，并在“日本Nano Micro Business展”（東京有明國際會展中心，7月5日閉幕）上進行了展示。 試制系統(tǒng) （點擊放大）
日本產業(yè)技術綜合研究所開發(fā)出了基于MEMS（微電子機械系統(tǒng)）技術的靜電傳感器，并在“日本Nano Micro Business展”（東京有明國際會展中心，7月5日閉幕）上進行了展示。 試制系統(tǒng) （點擊放大）
