基于MEMS的陀螺儀,是利用科里利奧力,對MEMS內(nèi)部施加一個X方向的激勵信號,當(dāng)質(zhì)量塊相對于震蕩的系統(tǒng)產(chǎn)生Z軸方向的旋轉(zhuǎn)運動時,由于Y方向的科里利奧力,質(zhì)量塊就產(chǎn)生Y方向的運動,通過計算電容的變化,就可以計算出對應(yīng)的角加速度值。
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