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缺陷檢測(cè)系統(tǒng)

關(guān)注人關(guān)注

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KLA-Tencor發(fā)布VoyagerTM 1015和Surfscan® SP7缺陷檢測(cè)系統(tǒng)：解決工藝和設(shè)備監(jiān)控中的兩個(gè)關(guān)鍵挑戰(zhàn)

日前，KLA-Tencor公司宣布推出兩款全新缺陷檢測(cè)產(chǎn)品，在硅晶圓和芯片制造領(lǐng)域中針對(duì)先進(jìn)技術(shù)節(jié)點(diǎn)的邏輯和內(nèi)存元件，為設(shè)備和工藝監(jiān)控解決兩項(xiàng)關(guān)鍵挑戰(zhàn)。

測(cè)試測(cè)量
2018-07-12

kla-tencor 晶圓缺陷檢測(cè)系統(tǒng) 光刻系統(tǒng)