納米級(jí)表面粗糙度測(cè)量：白光干涉儀的環(huán)境振動(dòng)補(bǔ)償技術(shù)

白光干涉儀通過(guò)分析干涉條紋的變化來(lái)測(cè)量表面高度信息。當(dāng)存在環(huán)境振動(dòng)時(shí)，干涉儀的光學(xué)元件和被測(cè)樣品會(huì)發(fā)生微小位移，使得干涉條紋的相位和強(qiáng)度發(fā)生變化。這種變化會(huì)干擾正常的測(cè)量信號(hào)，導(dǎo)致測(cè)量結(jié)果出現(xiàn)偏差。特別是在納米級(jí)測(cè)量中，微小的振動(dòng)都可能引起較大的測(cè)量誤差。