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白光干涉儀

關(guān)注人關(guān)注

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納米級表面粗糙度測量：白光干涉儀的環(huán)境振動補(bǔ)償技術(shù)

白光干涉儀通過分析干涉條紋的變化來測量表面高度信息。當(dāng)存在環(huán)境振動時，干涉儀的光學(xué)元件和被測樣品會發(fā)生微小位移，使得干涉條紋的相位和強(qiáng)度發(fā)生變化。這種變化會干擾正常的測量信號，導(dǎo)致測量結(jié)果出現(xiàn)偏差。特別是在納米級測量中，微小的振動都可能引起較大的測量誤差。

測試測量
2025-04-23

白光干涉儀相位追蹤法

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