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電容式MEMS麥克風讀出電路設計
1 引言與傳統(tǒng)的駐極體電容式麥克風相比，電容式MEMS麥克風具有以下優(yōu)勢:1)性能穩(wěn)定，溫度系數(shù)低，受濕度和機械振動的影響小;2)成本低廉;3)體積小巧，電容式MEMS麥克風的背極板和振膜僅有最小的駐極體電容式麥克風的1
1 引言與傳統(tǒng)的駐極體電容式麥克風相比，電容式MEMS麥克風具有以下優(yōu)勢:1)性能穩(wěn)定，溫度系數(shù)低，受濕度和機械振動的影響小;2)成本低廉;3)體積小巧，電容式MEMS麥克風的背極板和振膜僅有最小的駐極體電容式麥克風的1
