“濕法清洗”一詞源自行業(yè)早期的預(yù)防性維護(hù)方式,即拆卸反應(yīng)腔室并將石英部件浸入酸水沖洗,之后再晾干并重新組裝。如今對于需要高精度維護(hù)的設(shè)備而言,其中唯一涉及“濕”的常用物質(zhì)便是去離子水濕潤過的無絨布,不過“濕法清洗”這個(gè)傳統(tǒng)稱謂卻被沿用至今。所以,維護(hù)方式被稱為“濕法”,但實(shí)際上卻是“干法”。
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