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國產(chǎn)12英寸氮化硅沉積設(shè)備進(jìn)入中國IC制造龍頭企業(yè)
北方華創(chuàng)宣布，2020年4月7日，北方華創(chuàng)THEORIS SN302D型12英寸氮化硅沉積設(shè)備搬入( Move in)國內(nèi)集成電路制造龍頭企業(yè)。該設(shè)備的交付，意味著國產(chǎn)立式LPCVD設(shè)備在先進(jìn)集成電路制造領(lǐng)域的應(yīng)用拓展上實(shí)現(xiàn)重大進(jìn)展。
北方華創(chuàng)宣布，2020年4月7日，北方華創(chuàng)THEORIS SN302D型12英寸氮化硅沉積設(shè)備搬入( Move in)國內(nèi)集成電路制造龍頭企業(yè)。該設(shè)備的交付，意味著國產(chǎn)立式LPCVD設(shè)備在先進(jìn)集成電路制造領(lǐng)域的應(yīng)用拓展上實(shí)現(xiàn)重大進(jìn)展。
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