在真空技術(shù)應(yīng)用中,氣體微流量由氣體微流量計測量。精確測量氣體微流量(或漏率)具有十分重要的意義。例如,為了保持飛船艙內(nèi)的壓力長期工作正常,需要對艙體進(jìn)行檢漏,檢漏時不但要找到漏孔位置,還要精確測量微小的漏率,這對于長期在空間飛行的載人飛船尤為重要;火箭燃料是易燃、易爆、有毒的氣體或液體,微小的泄漏具
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