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無基座式反應器

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國家知識產(chǎn)權局專利復審委認定Veeco公司無基座式反應器專利無效

國家知識產(chǎn)權局專利復審委員會(以下簡稱“專利復審委”)于1月23日作出審查決定書，認定美國維易科精密儀器有限公司(以下簡稱“Veeco美國”)的第ZL 01822507.1號、名稱為“通過化學汽相沉積在晶片上生長外延層的無基座式反應器”的發(fā)明專利的全部權利要求因不具有新穎性和創(chuàng)造性而無效。

半導體
2018-01-26

veeco 知識產(chǎn)權無基座式反應器

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