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改良西門子法

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  • 改良西門子法概述和優(yōu)點

    改良西門子法多晶硅生產(chǎn)的西門子工藝，其原理就是在1100℃左右的高純硅芯上用高純氫還原高純三氯氫硅，生成多晶硅沉積在硅芯上。改良西門子工藝是在傳統(tǒng)的西門子工藝的基礎上，同時具備節(jié)能、降耗、回收利用生產(chǎn)過程中伴隨產(chǎn)生的大量H2、HCI、SiCI4等副產(chǎn)物以及大量副產(chǎn)熱能的配套工藝。世界上絕大部分廠家均采用改良西門子法生產(chǎn)多晶硅。