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批量化制備

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石墨烯單晶晶圓研究取得新進展，批量化制備出現(xiàn)新思路

近日，中國科學(xué)院上海微系統(tǒng)與信息技術(shù)研究所石墨烯單晶晶圓研究取得新進展。信息功能材料國家重點實驗室研究員謝曉明領(lǐng)導(dǎo)的石墨烯研究團隊首次在較低溫度（750℃）條件下采用化學(xué)氣相沉積外延成功制備6英寸無褶

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2019-06-06

中科院晶圓石墨烯批量化制備

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