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擴(kuò)展電阻技術(shù)測試外延片外延厚度誤差分析
擴(kuò)展電阻技術(shù)(spreading resistance profile,SRP)由于其優(yōu)越的空間分辨率越來越廣泛地應(yīng)用在外延片和IC 圖形片測試中。SRP 技術(shù)既可以測量外延片縱向電阻變化，也可以測量外延層厚度、過渡區(qū)及夾層寬度等。四探針最小的測量體積約為5 ×10-8 cm3，而最新發(fā)展的擴(kuò)展電阻
擴(kuò)展電阻技術(shù)(spreading resistance profile,SRP)由于其優(yōu)越的空間分辨率越來越廣泛地應(yīng)用在外延片和IC 圖形片測試中。SRP 技術(shù)既可以測量外延片縱向電阻變化，也可以測量外延層厚度、過渡區(qū)及夾層寬度等。四探針最小的測量體積約為5 ×10-8 cm3，而最新發(fā)展的擴(kuò)展電阻
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