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復(fù)合量程微加速度計(jì)動(dòng)態(tài)特性分析
1 引言 隨著硅微機(jī)械技術(shù)的不斷發(fā)展，基于壓阻原理的微加速度計(jì)已成為商品。由于硅的機(jī)械性能優(yōu)良，這些微加速度計(jì)往往具有較高的抗過載能力。然而，有些物理過程存在相
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