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圖案成型控制系統(tǒng)

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  • KLA-Tencor推出五款圖案成型控制系統(tǒng)

    KLA-Tencor公司(納斯達克股票交易代碼：KLAC)今天針對7納米以下的邏輯和尖端內(nèi)存設(shè)計節(jié)點推出了五款圖案成型控制系統(tǒng)，以幫助芯片制造商實現(xiàn)多重曝光技術(shù)和EUV光刻所需的嚴格工藝寬容度。在IC制造廠內(nèi)，ATL™疊對量測系統(tǒng)和SpectraFilm™ F1薄膜量測系統(tǒng)可以針對finFET、DRAM、3D NAND和其他復(fù)雜器件結(jié)構(gòu)的制造提供工藝表征分析和偏移監(jiān)控。