化學氣相沉積裝置最主要的元件就是反應器。
摘 要:對于化工生產過程中的放熱反應來說,其反應器溫度控制系統(tǒng)不僅具有強耦合、非線性等特點,同時還具有熱危險性,傳統(tǒng)的PID控制策略往往不能滿足其穩(wěn)定性要求。文章通過建立RBF神經網絡模型,提出了一種基于徑向基神經網絡RBF-PID的反應器溫度控制策略,同時結合高級多功能過程控制實驗系統(tǒng)SMPT1000平臺進行仿真驗證。仿真結果表明 基于RBF-PID控制策略的反應器溫度控制系統(tǒng)具有超調量小、動態(tài)性能好等特點,可實現反應器溫度的穩(wěn)定控制