MEMS(Microelectromechanical Systems)微機(jī)電系統(tǒng),將微電子技術(shù)與機(jī)械工程融合到一起的一種工業(yè)技術(shù),它的操作范圍在微米范圍內(nèi),能夠把力轉(zhuǎn)化成電信號(hào)。MEMS器件應(yīng)用在手機(jī),健身手環(huán)、打印機(jī)、汽車、無(wú)人機(jī)以及VR/AR頭戴式設(shè)備等日常電子產(chǎn)品中,MEMS在我們的生產(chǎn)生活可謂無(wú)處不在。