在自動(dòng)駕駛、機(jī)器人導(dǎo)航、三維建模等眾多領(lǐng)域,激光雷達(dá)(LiDAR)的飛行時(shí)間(Time - of - Flight,ToF)測(cè)距技術(shù)發(fā)揮著至關(guān)重要的作用。它通過精確測(cè)量激光脈沖從發(fā)射到被目標(biāo)反射后返回的時(shí)間,來計(jì)算目標(biāo)物體的距離。而單光子雪崩二極管(SPAD)陣列作為激光雷達(dá)ToF測(cè)距系統(tǒng)的核心探測(cè)器,其靈敏度直接決定了測(cè)距系統(tǒng)的性能邊界,不斷探索和突破SPAD陣列的靈敏度邊界,對(duì)于推動(dòng)激光雷達(dá)技術(shù)的發(fā)展具有重大意義。