近年來,隨著國家的大力支持以及國內(nèi)市場需求的快速增長,國產(chǎn)半導(dǎo)體產(chǎn)業(yè)發(fā)展迅猛,而在關(guān)鍵的國產(chǎn)半導(dǎo)體設(shè)備領(lǐng)域也有了不小的進(jìn)步。 比如在硅刻蝕機(jī)領(lǐng)域,北方華創(chuàng)實(shí)現(xiàn)了14nm設(shè)備的突破,同時(shí)也在去年實(shí)現(xiàn)了適
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