掃描電子顯微鏡分析(SEM)掃描電子顯微鏡(SEM)是進(jìn)行失效分析的一種最有用的大型電子顯微成像系統(tǒng),最常用作形貌觀察,現(xiàn)時的掃描電子顯微鏡的功能已經(jīng)很強大,任何精細(xì)結(jié)構(gòu)或表面特征均可放大到幾十萬倍進(jìn)行觀察與分析。
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