在確定并減小外部誤差后,如果可能的話,可將測(cè)試系統(tǒng)的內(nèi)部和外部偏移從將來(lái)的測(cè)量結(jié)果中減去。首先,如上所述,在輸入戴有金屬帽的情況下對(duì)SMU進(jìn)行自動(dòng)校準(zhǔn)。然后,確定每個(gè)SMU至探針的偏移。利用軟件
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