一、前言 真空泵是一種旋轉(zhuǎn)式變?nèi)菡婵毡?,須有前級泵配合方可使用。其作用就是從真空室中抽除氣體分子,降低真空室內(nèi)的氣體壓力,使之達(dá)到要求的真空度。在較寬的壓力
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