美國(guó)吉時(shí)利（Keithley）儀器公司日前發(fā)布面向S600系列參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的Keithley交互式測(cè)試平臺(tái)軟件KTE V5.2版。KTE V5.2所具備的多種功能大大提高了前沿電路材料測(cè)試的吞吐量（如RF頻率測(cè)試），并增強(qiáng)了研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程中所涉及的并行測(cè)試能力。此外，經(jīng)過(guò)升級(jí)的KTE V5.2軟件還大大增強(qiáng)了易用性、簡(jiǎn)化了測(cè)試工作。

    最新發(fā)布的KTE軟件傳承了吉時(shí)利（Keithley）不斷改進(jìn)測(cè)試平臺(tái)和增強(qiáng)固定設(shè)備重用性方面的一貫承諾，將助于測(cè)試工程師們降低總體測(cè)試成本。吉時(shí)利(Keithley)通過(guò)不斷增強(qiáng)其產(chǎn)品功能來(lái)滿足用戶日益復(fù)雜的測(cè)試需求，例如進(jìn)一步完善研發(fā)早期階段的測(cè)試工作，以及獲取模型校準(zhǔn)所需的大量RF統(tǒng)計(jì)數(shù)據(jù)。

    吉時(shí)利(Keithley)KTE軟件是功能強(qiáng)大的圓片測(cè)試開發(fā)與執(zhí)行平臺(tái)，能夠幫助測(cè)試工程師制訂整個(gè)測(cè)試方案。通過(guò)調(diào)用預(yù)定義的測(cè)試庫(kù)、定義參數(shù)和連接方式，用戶可在subsite級(jí)創(chuàng)建自定義的電氣測(cè)試項(xiàng)目。

    KTE V5.2是針對(duì)吉時(shí)利（Keithley）S600系列參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)而設(shè)計(jì)。S600系列已在各種測(cè)試環(huán)境中廣泛應(yīng)用，包括過(guò)程控制、過(guò)程和設(shè)備調(diào)諧與優(yōu)化、圓片測(cè)試，以及器件建模和表征等領(lǐng)域，S600系列測(cè)試系統(tǒng)在半導(dǎo)體行業(yè)中的應(yīng)用已經(jīng)跨越5代工藝節(jié)點(diǎn)，在此期間，S600以其對(duì)固定設(shè)備重用性的良好支持，降低了用戶的測(cè)試成本并引導(dǎo)了整個(gè)半導(dǎo)體測(cè)試行業(yè)。

    對(duì)并行測(cè)試支持的改進(jìn)是KTE V5.2版增強(qiáng)的最重要功能。利用并行測(cè)試技術(shù)，用戶能在過(guò)程開發(fā)中、相同的測(cè)試時(shí)間內(nèi)獲取更多數(shù)據(jù)量，或在產(chǎn)品量產(chǎn)過(guò)程中較少的時(shí)間內(nèi)獲取同樣數(shù)據(jù)量，并行測(cè)試技術(shù)已經(jīng)成為提高測(cè)試吞吐量的一種主要手段。新發(fā)布的KTE V5.2版中涉及的新特性包括對(duì)PT_Execute的全校驗(yàn)支持，PT_Execute是一種能夠在并行和串行測(cè)試二者之間進(jìn)行快速評(píng)估的軟件例程。早期評(píng)估方法需提供復(fù)雜的用戶手冊(cè)，既浪費(fèi)時(shí)間又耗費(fèi)工程資源。PT_Execute僅通過(guò)簡(jiǎn)單的鍵盤操作即可啟動(dòng)運(yùn)行，大大縮短工程研發(fā)時(shí)間并降低用戶的總成本。其另一增強(qiáng)特性是FMI（Force-Measurement Interlock，強(qiáng)制測(cè)量互鎖）技術(shù)，F(xiàn)MI為固件與軟件聯(lián)合解決方案，能減少測(cè)試過(guò)程中的串?dāng)_、噪聲，降低測(cè)試結(jié)果的測(cè)量波動(dòng)（measurement variability）。

    新的KTE V5.2增強(qiáng)了RF測(cè)試功能，包括改進(jìn)的LRM校準(zhǔn)，這比現(xiàn)有的測(cè)試技術(shù)更加實(shí)用且完全有別于現(xiàn)今市場(chǎng)的其他類似技術(shù)。KTE V5.2中RF測(cè)試功能在生產(chǎn)條件下實(shí)現(xiàn)相關(guān)性測(cè)量和校準(zhǔn)，增強(qiáng)了S680參數(shù)測(cè)試系統(tǒng)的RF測(cè)試能力，能同時(shí)進(jìn)行精確的DC和RF測(cè)量工作，非常適用研發(fā)和生產(chǎn)過(guò)程。

    KTE V5.2增強(qiáng)的錯(cuò)誤信息描述功能有助于簡(jiǎn)化故障檢測(cè)工作，另一增強(qiáng)功能追蹤校準(zhǔn)臺(tái)接觸情況（touchdown），用于預(yù)測(cè)探針頭的磨損程度。RF測(cè)試瀏覽器工具包可實(shí)現(xiàn)海量測(cè)試數(shù)據(jù)的大幅度快速精簡(jiǎn)產(chǎn)生所感興趣的RF參數(shù)，幫助RF設(shè)備工程師實(shí)現(xiàn)實(shí)時(shí)過(guò)程控制。

    Keithley的KTE V5.2平臺(tái)還改進(jìn)了對(duì)嵌入式儀器子系統(tǒng)的支持，采用該種設(shè)計(jì)方式可提高系統(tǒng)總體測(cè)試吞吐量。該系統(tǒng)優(yōu)化了多種新型子系統(tǒng)，包括一種能夠?qū)㈦娙轀y(cè)量吞吐量提高2倍的新型LCR表、一個(gè)頻譜分析儀（在基準(zhǔn)電路分析中的應(yīng)用逐漸增多）和Keithley的3400系列脈沖/圖形發(fā)生器。3400系列脈沖/圖形發(fā)生器能夠滿足高級(jí)半導(dǎo)體器件表征和材料研究過(guò)程中進(jìn)行脈沖測(cè)試的需要。在器件尺寸不斷減小、很多電子元件和材料的工作速度不斷增長(zhǎng)地驅(qū)動(dòng)下，產(chǎn)生該類應(yīng)用。

    Keithley的KTE V5.2大大改善了軟件平臺(tái)的易用性。增強(qiáng)的KRM（Keithley Recipe Manager，Keithley配置管理器）能實(shí)現(xiàn)多重配置的編輯，并處理其中一種配置（測(cè)試?yán)蹋┑妮斎胄畔?，將程序員的干預(yù)活動(dòng)減至最少。其他的增強(qiáng)功能包括增加搜索內(nèi)容的高亮顯示和數(shù)據(jù)輸入中的撤銷功能。