MEMS是近年來(lái)最受關(guān)注的模擬技術(shù)之一，據(jù)iSuppli報(bào)告顯示，從2010年至2015年MEMS的銷售額年復(fù)合增長(zhǎng)率是11%。筆者日前在硅谷采訪的MEMS公司IMT(Innovative Micro Technology)，將MEMS技術(shù)應(yīng)用到細(xì)胞分選儀醫(yī)療設(shè)備上，為癌癥治療帶來(lái)更為先進(jìn)的方法。

圖1：IMT今年1月上任的CEO Craig Ensley認(rèn)為MEMS在醫(yī)療上的應(yīng)用非常有意義

IMT公司的業(yè)務(wù)涵蓋了RF、紅外、能源、測(cè)試、生命醫(yī)療、生物技術(shù)、光學(xué)和導(dǎo)航等多個(gè)領(lǐng)域。IMT公司提供MEMS代工業(yè)務(wù)的同時(shí)，自主設(shè)計(jì)生產(chǎn)的MEMS產(chǎn)品也處于領(lǐng)先地位，例如IMT公司的開(kāi)關(guān)出貨量達(dá)到6200萬(wàn)片，超過(guò)了其它MEMS廠商的總和。它還能夠提供最精細(xì)的MEMS，在單個(gè)芯片上的漏孔可達(dá)到100萬(wàn)個(gè)，精度達(dá)到22納米級(jí)；IMT還擁有世界上最快的MEMS技術(shù)，平均加速度可以達(dá)到驚人的12,000Gs。

據(jù)IMT公司的CEO Craig Ensley表示，IMT的MEMS技術(shù)在敏感度和復(fù)雜度達(dá)到世界第一?！肮居?寸的晶圓廠，工藝可達(dá)到0.3微米，年產(chǎn)能約為45,000個(gè)晶圓，可以為客戶提供Turn-key MEMS foundry服務(wù)。IMT公司有42個(gè)MEMS技術(shù)專利，已經(jīng)申請(qǐng)待批的專利有49個(gè)?！?br>在此次媒體見(jiàn)面會(huì)上主要介紹的是一款用于醫(yī)療設(shè)備細(xì)胞分選儀上的MEMS技術(shù)。


圖2：Nanosorter設(shè)計(jì)已經(jīng)在醫(yī)院中開(kāi)始使用

“最近我們宣布了與Owl生物醫(yī)療公司業(yè)務(wù)授權(quán)合作，IMT公司的MEMS已經(jīng)用于Owl的的細(xì)胞分選儀Nanosorter上。采用了IMT公司的Cell Sorter后，細(xì)胞的存活率從50%提升到了97%以上，細(xì)胞的篩選率達(dá)到了每小時(shí)200M個(gè)。這大大提升了細(xì)胞治療如癌癥、慢性心臟疾病、淋巴疾病和代謝類疾病的治療效率和治療成本。”

Craig認(rèn)為，這一次能夠?qū)?strong>MEMS技術(shù)應(yīng)用到“拯救生命”的醫(yī)療設(shè)備上，相比之前的一些“比較酷”的應(yīng)用，意義要大得多。Owl公司與IMT在2011年就簽訂協(xié)議，打算將Nanosorter技術(shù)以授權(quán)方式全球推廣。