IC裝備專項(xiàng)掌握核心技術(shù)
[導(dǎo)讀]極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)，簡(jiǎn)稱IC裝備專項(xiàng)，屬于電子信息板塊。該專項(xiàng)的主要任務(wù)是實(shí)現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破，支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。IC裝備專項(xiàng)由北京市、上海市牽頭組織實(shí)施，是唯一一個(gè)
極大規(guī)模集成電路制造裝備與成套工藝專項(xiàng)，簡(jiǎn)稱IC裝備專項(xiàng)，屬于電子信息板塊。該專項(xiàng)的主要任務(wù)是實(shí)現(xiàn)IC制造核心裝備和制造工藝的突破，支撐我國IC產(chǎn)業(yè)的發(fā)展。
IC裝備專項(xiàng)由北京市、上海市牽頭組織實(shí)施，是唯一一個(gè)由地方政府牽頭組織實(shí)施的重大專項(xiàng)，通過一系列創(chuàng)新管理制度的建立，充分發(fā)揮地方政府作用，引導(dǎo)資源聚集，改善產(chǎn)業(yè)環(huán)境。同時(shí)，注重創(chuàng)新投入機(jī)制，引導(dǎo)多元化投入。
在專項(xiàng)實(shí)施前，IC制造前工序和封測(cè)的生產(chǎn)線的所有裝備以及配套材料基本都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展。專項(xiàng)為此提出“掌握核心技術(shù)、開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的宗旨，注重整體設(shè)計(jì)、長遠(yuǎn)布局、重點(diǎn)突破、構(gòu)建體系，提出培育一批“世界級(jí)企業(yè)”、實(shí)現(xiàn)與世界同步發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)。
“十一五”期間，該專項(xiàng)重點(diǎn)針對(duì)65—45納米技術(shù)代進(jìn)行系統(tǒng)性布局，取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機(jī)”，和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機(jī)”，目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進(jìn)行考核，指標(biāo)達(dá)到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導(dǎo)體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機(jī)”向臺(tái)灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺(tái)。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進(jìn)投影式光刻機(jī)，已經(jīng)成功進(jìn)入江陰長電的先進(jìn)封裝生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了我國光刻機(jī)產(chǎn)品的重大突破。
IC裝備專項(xiàng)在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，45nm工藝正在做量產(chǎn)準(zhǔn)備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項(xiàng)研制的部件和材料產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。
在組織實(shí)施過程中，專項(xiàng)進(jìn)行了機(jī)制創(chuàng)新的嘗試，提出了“市場(chǎng)考核產(chǎn)品、應(yīng)用考核技術(shù)、整機(jī)考核部件”的新考核方式。并在專項(xiàng)實(shí)施“舉國體制”方面取得經(jīng)驗(yàn)：圍繞產(chǎn)業(yè)鏈組織多部門、多地區(qū)聯(lián)合攻關(guān)的“大兵團(tuán)”作戰(zhàn)，系統(tǒng)性組織項(xiàng)目實(shí)施。其中“封測(cè)關(guān)鍵設(shè)備、材料應(yīng)用工程”項(xiàng)目依托龍頭封裝廠，聯(lián)合國內(nèi)數(shù)十家封測(cè)裝備、材料廠商，通過兩年時(shí)間成功研制出裝片機(jī)、鍵合機(jī)等23種關(guān)鍵封測(cè)設(shè)備、5種封測(cè)材料，進(jìn)行嚴(yán)格的大生產(chǎn)考核，經(jīng)多輪改進(jìn)，真正滿足大生產(chǎn)線的技術(shù)要求，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。
目前，共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項(xiàng)，其中中高級(jí)研發(fā)人員占52%。專項(xiàng)還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗(yàn)和國際化市場(chǎng)運(yùn)作能力的海外留學(xué)歸國人員和團(tuán)隊(duì)參與。其中，通過“千人計(jì)劃”引進(jìn)22位海外高層次人才，極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。
此外，在“十一五”啟動(dòng)的58個(gè)項(xiàng)目中，企業(yè)牽頭項(xiàng)目40個(gè)，占到總數(shù)的69%，體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計(jì)申請(qǐng)專利4248項(xiàng)，其中發(fā)明專利3667項(xiàng)，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項(xiàng)。
IC裝備專項(xiàng)還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)作用。由于基本工藝原理相似，IC制造技術(shù)還輻射帶動(dòng)了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于我國推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，具有重要的促進(jìn)作用。
IC裝備專項(xiàng)由北京市、上海市牽頭組織實(shí)施，是唯一一個(gè)由地方政府牽頭組織實(shí)施的重大專項(xiàng)，通過一系列創(chuàng)新管理制度的建立，充分發(fā)揮地方政府作用，引導(dǎo)資源聚集，改善產(chǎn)業(yè)環(huán)境。同時(shí)，注重創(chuàng)新投入機(jī)制，引導(dǎo)多元化投入。
在專項(xiàng)實(shí)施前，IC制造前工序和封測(cè)的生產(chǎn)線的所有裝備以及配套材料基本都依賴進(jìn)口，嚴(yán)重制約產(chǎn)業(yè)發(fā)展。專項(xiàng)為此提出“掌握核心技術(shù)、開發(fā)關(guān)鍵產(chǎn)品、支撐產(chǎn)業(yè)發(fā)展”的宗旨，注重整體設(shè)計(jì)、長遠(yuǎn)布局、重點(diǎn)突破、構(gòu)建體系，提出培育一批“世界級(jí)企業(yè)”、實(shí)現(xiàn)與世界同步發(fā)展的戰(zhàn)略目標(biāo)。
“十一五”期間，該專項(xiàng)重點(diǎn)針對(duì)65—45納米技術(shù)代進(jìn)行系統(tǒng)性布局，取得創(chuàng)新性突破。北京北方微電子公司研制的“12吋65nm柵刻蝕機(jī)”，和北京中科信公司研制的“12吋離子注入機(jī)”，目前都已經(jīng)在中芯國際生產(chǎn)線進(jìn)行考核，指標(biāo)達(dá)到了國外同類產(chǎn)品水平。上海中微半導(dǎo)體公司研制的“12吋65nm介質(zhì)刻蝕機(jī)”向臺(tái)灣、韓國、日本銷售訂單已有20多臺(tái)。上海微電子裝備公司研發(fā)的步進(jìn)投影式光刻機(jī)，已經(jīng)成功進(jìn)入江陰長電的先進(jìn)封裝生產(chǎn)線，實(shí)現(xiàn)了我國光刻機(jī)產(chǎn)品的重大突破。
IC裝備專項(xiàng)在工藝方面也取得了重大突破。中芯國際自主研發(fā)的“65nm低漏電產(chǎn)品工藝”已實(shí)現(xiàn)量產(chǎn)，45nm工藝正在做量產(chǎn)準(zhǔn)備。上海華虹、宏力、無錫華潤一批特色產(chǎn)品工藝、以及專項(xiàng)研制的部件和材料產(chǎn)品實(shí)現(xiàn)了產(chǎn)業(yè)化集群發(fā)展。
在組織實(shí)施過程中，專項(xiàng)進(jìn)行了機(jī)制創(chuàng)新的嘗試，提出了“市場(chǎng)考核產(chǎn)品、應(yīng)用考核技術(shù)、整機(jī)考核部件”的新考核方式。并在專項(xiàng)實(shí)施“舉國體制”方面取得經(jīng)驗(yàn)：圍繞產(chǎn)業(yè)鏈組織多部門、多地區(qū)聯(lián)合攻關(guān)的“大兵團(tuán)”作戰(zhàn)，系統(tǒng)性組織項(xiàng)目實(shí)施。其中“封測(cè)關(guān)鍵設(shè)備、材料應(yīng)用工程”項(xiàng)目依托龍頭封裝廠，聯(lián)合國內(nèi)數(shù)十家封測(cè)裝備、材料廠商，通過兩年時(shí)間成功研制出裝片機(jī)、鍵合機(jī)等23種關(guān)鍵封測(cè)設(shè)備、5種封測(cè)材料，進(jìn)行嚴(yán)格的大生產(chǎn)考核，經(jīng)多輪改進(jìn)，真正滿足大生產(chǎn)線的技術(shù)要求，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)鏈的國產(chǎn)化。
目前，共有1萬多名科技人員參與IC裝備專項(xiàng)，其中中高級(jí)研發(fā)人員占52%。專項(xiàng)還吸引了195名具有高端產(chǎn)品開發(fā)經(jīng)驗(yàn)和國際化市場(chǎng)運(yùn)作能力的海外留學(xué)歸國人員和團(tuán)隊(duì)參與。其中，通過“千人計(jì)劃”引進(jìn)22位海外高層次人才，極大地提高了國內(nèi)的研發(fā)能力和產(chǎn)業(yè)化水平。
此外，在“十一五”啟動(dòng)的58個(gè)項(xiàng)目中，企業(yè)牽頭項(xiàng)目40個(gè)，占到總數(shù)的69%，體現(xiàn)了以企業(yè)為主體打造創(chuàng)新體系的宗旨。累計(jì)申請(qǐng)專利4248項(xiàng)，其中發(fā)明專利3667項(xiàng)，已經(jīng)授權(quán)發(fā)明專利384項(xiàng)。
IC裝備專項(xiàng)還注重發(fā)揮產(chǎn)業(yè)帶動(dòng)作用。由于基本工藝原理相似，IC制造技術(shù)還輻射帶動(dòng)了太陽能電池、LED照明、TFTLCD顯示屏等產(chǎn)業(yè)的快速發(fā)展，對(duì)于我國推進(jìn)戰(zhàn)略性新興產(chǎn)業(yè)，實(shí)現(xiàn)產(chǎn)業(yè)結(jié)構(gòu)調(diào)整，具有重要的促進(jìn)作用。
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